一個納米位移臺可以控制的方向數（自由度，Degrees of Freedom, DOF）取決于其設計結構和應用需求。常見控制方向如下：
1 個方向（單軸納米位移臺）
控制軸向：通常是 X、Y 或 Z 其中一個方向。
應用：單方向掃描、簡單位移、對焦等。
2 個方向（雙軸納米位移臺）
控制平面：常見為 XY、XZ 或 YZ 兩個方向的平面控制。
應用：表面掃描、平面對準、探針定位等。
3 個方向（三軸納米位移臺）
控制三維空間：X、Y、Z 三個正交方向。
應用：三維對準、納米裝配、激光聚焦定位等。
多自由度（≥4軸）
例子：
6軸平臺（X、Y、Z 平移 + α、β、γ 旋轉）
Tip/Tilt/Z 平臺（Z軸 + 兩個角度傾斜）
應用：復雜微組裝、光學對準、干涉儀、半導體封裝中的晶圓級旋轉調節(jié)等。
補充說明：
模塊組合：許多高精度系統(tǒng)將多個單軸或雙軸位移臺疊加或組合，構建出多軸系統(tǒng)。
同步控制：多軸平臺通常搭配閉環(huán)反饋（如電容傳感器、光柵尺）和高性能控制器，實現亞納米級同步控制。